High temperature processing of poly-SiC substrates from the vapor phase for wafer-bonding
G. Chichignoud
(1, 2)
,
M. Pons
(1)
,
E. Blanquet
(1)
,
D. Chaussende
(2)
,
M. Anikin
(2)
,
Etienne Pernot
(2)
,
Michel Mermoux
(3)
,
R. Madar
(2)
,
C. Moisson
(4)
,
F. Letertre
(5)
G. Chichignoud
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9703
- IdHAL : guy-chichignoud
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- IdRef : 113992734
M. Pons
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : michel-pons
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- IdRef : 077856112
E. Blanquet
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : elisabeth-blanquet
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D. Chaussende
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : didier-chaussende
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- IdRef : 069663831
Michel Mermoux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174628
- IdHAL : michel-mermoux
- IdRef : 034001565