%0 Book %T Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique %+ Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP) %A Mouis, M. %Z CMNE %I éditions Hermès Science %P XX %8 2006 %D 2006 %Z Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/MicroelectronicsBooks %G French %L hal-00148998 %U https://hal.science/hal-00148998 %~ UGA %~ CNRS %~ UNIV-GRENOBLE1 %~ INPG %~ FMNT