Vacuum and cryogenic station for Micro-Electro-Mechanical Systems probing and testing - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Review of Scientific Instruments Année : 2002

Vacuum and cryogenic station for Micro-Electro-Mechanical Systems probing and testing

Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
E. Quévy
  • Fonction : Auteur
B. Stefanelli
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00148782

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:58:29

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148782 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148782 , version 1

Citer

Bernard Legrand, E. Quévy, B. Stefanelli, D. Collard, L. Buchaillot. Vacuum and cryogenic station for Micro-Electro-Mechanical Systems probing and testing. Review of Scientific Instruments, 2002, 73, pp.4393-4395. ⟨hal-00148782⟩

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