Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronics Reliability Année : 2002

Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148766 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148766 , version 1

Citer

O. Millet, D. Collard, L. Buchaillot. Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches. Microelectronics Reliability, 2002, 42, pp.1795-1800. ⟨hal-00148766⟩
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