High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment

A. Kaiser
Bernard Legrand
C. Combi
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148737 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148737 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, C. Combi, D. Collard, et al.. High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment. 2002, pp.665-668. ⟨hal-00148737⟩
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