High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment

D. Galayko
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
A. Kaiser
CV
Bernard Legrand
CV
C. Combi
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00148737

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:20:29

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148737 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148737 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, C. Combi, D. Collard, et al.. High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment. 2002, pp.665-668. ⟨hal-00148737⟩

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