Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology

D. Galayko
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
A. Kaiser
CV
Bernard Legrand
CV
L. Buchaillot
C. Combi
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00148736

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:20:29

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148736 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148736 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, C. Combi, et al.. Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology. 2002, pp.447-450. ⟨hal-00148736⟩

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