Transmission electron microscopy of silicides used in ALSB-SOI MOSFET structure - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Transmission electron microscopy of silicides used in ALSB-SOI MOSFET structure

J. Katcki
  • Fonction : Auteur
J. Ratajczak
  • Fonction : Auteur
A. Laszcz
  • Fonction : Auteur
G. Larrieu
  • Fonction : Auteur
X. Baie
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00147750 , version 1 (21-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00147750 , version 1

Citer

J. Katcki, J. Ratajczak, A. Laszcz, Emmanuel Dubois, G. Larrieu, et al.. Transmission electron microscopy of silicides used in ALSB-SOI MOSFET structure. 2004, pp.479-482. ⟨hal-00147750⟩
17 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More