Design, fabrication and characterization of high frequency piezoelectric micromachined ultrasonic transducers - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Design, fabrication and characterization of high frequency piezoelectric micromachined ultrasonic transducers

F.F.C. Duval
  • Fonction : Auteur
Anne-Christine Hladky
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Eric Cattan

Collection IEMN  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00147503

Soumis le : vendredi 18 mai 2007-11:18:41

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00147503 , version 1 (18-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00147503 , version 1

Citer

F.F.C. Duval, Anne-Christine Hladky, Eric Cattan. Design, fabrication and characterization of high frequency piezoelectric micromachined ultrasonic transducers. 2006, pp.1959-1962. ⟨hal-00147503⟩

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