Impact of TiN post-treatment on Metal Insulator Metal capacitors performances
A. Bajolet
(1)
,
J.P. Manceau
(1)
,
S. Bruyère
(1)
,
R. Clerc
(2)
,
M. Proust
(1)
,
N. Gaillard
(1)
,
J.C. Giraudin
(1)
,
P. Delpech
(1)
,
L. Montès
(2)
,
G. Ghibaudo
(2)
R. Clerc
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173341
- IdHAL : raphael-clerc
- ORCID : 0000-0002-2256-4849
- IdRef : 140481990
L. Montès
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1429546
- IdHAL : laurentmontes
- ORCID : 0000-0002-3678-0163
G. Ghibaudo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170596
- IdHAL : gerard-ghibaudo
- ORCID : 0000-0001-9901-0679
- IdRef : 069253099