Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Impact of TiN post-treatment on Metal Insulator Metal capacitors performances

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146672 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146672 , version 1

Citer

A. Bajolet, J.P. Manceau, S. Bruyère, R. Clerc, M. Proust, et al.. Impact of TiN post-treatment on Metal Insulator Metal capacitors performances. MAM 2006, Materials for Advanced Metallization Conference, 2006, GRENOBLE, France. pp.XX. ⟨hal-00146672⟩

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