About the measurements of the d33 piezoelectric coefficient of the PZT film-Si/SiO2/Ti/Pt substrates using an optical cryostat - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Ferroelectrics Année : 2003

About the measurements of the d33 piezoelectric coefficient of the PZT film-Si/SiO2/Ti/Pt substrates using an optical cryostat

J. Nosek
  • Fonction : Auteur
L. Burianova
  • Fonction : Auteur
M. Sulc
  • Fonction : Auteur
Caroline Soyer
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens

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https://hal.science/hal-00146464

Soumis le : mardi 15 mai 2007-09:16:20

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146464 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146464 , version 1

Citer

J. Nosek, L. Burianova, M. Sulc, Caroline Soyer, Eric Cattan, et al.. About the measurements of the d33 piezoelectric coefficient of the PZT film-Si/SiO2/Ti/Pt substrates using an optical cryostat. Ferroelectrics, 2003, 292, pp.103-109. ⟨hal-00146464⟩

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