Ultimate technology for micromachining of nanometric gap HF micromechanical resonators - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Ultimate technology for micromachining of nanometric gap HF micromechanical resonators

Bernard Legrand
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146462 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146462 , version 1

Citer

E. Quevy, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. Ultimate technology for micromachining of nanometric gap HF micromechanical resonators. 2003, pp.157-160. ⟨hal-00146462⟩
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