Ultimate technology for micromachining of nanometric gap HF micromechanical resonators - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Ultimate technology for micromachining of nanometric gap HF micromechanical resonators

E. Quevy
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00146462

Soumis le : mardi 15 mai 2007-09:16:19

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146462 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146462 , version 1

Citer

E. Quevy, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. Ultimate technology for micromachining of nanometric gap HF micromechanical resonators. 2003, pp.157-160. ⟨hal-00146462⟩

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