Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ - Archive ouverte HAL Access content directly
Conference Papers Year : 2003

Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ

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Dates and versions

hal-00146455 , version 1 (15-05-2007)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00146455 , version 1

Cite

O. Millet, D. Collard, L. Buchaillot. Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ. 16ème Congrès Francais de Mécanique, 2003, Nice, France. ⟨hal-00146455⟩
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