Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ

O. Millet
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00146455

Soumis le : mardi 15 mai 2007-09:16:16

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146455 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146455 , version 1

Citer

O. Millet, D. Collard, L. Buchaillot. Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ. 16ème Congrès Francais de Mécanique, 2003, Nice, France. ⟨hal-00146455⟩

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