Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Japanese Journal of Applied Physics Année : 2003

Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS

Bernard Legrand
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146435 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146435 , version 1

Citer

O. Millet, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS. Japanese Journal of Applied Physics, 2003, 41, pp.L1339-L1341. ⟨hal-00146435⟩
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