Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Japanese Journal of Applied Physics Année : 2003

Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS

O. Millet
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00146435

Soumis le : mardi 15 mai 2007-09:04:19

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146435 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146435 , version 1

Citer

O. Millet, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS. Japanese Journal of Applied Physics, 2003, 41, pp.L1339-L1341. ⟨hal-00146435⟩

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