Techniques for mechanical strain analysis in submicron structures : TEM/CBED, micro-Raman spectroscopy, X-RAY micro-diffraction and modelling - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2003

Techniques for mechanical strain analysis in submicron structures : TEM/CBED, micro-Raman spectroscopy, X-RAY micro-diffraction and modelling

I. de Wolf
  • Fonction : Auteur
R. Balboni
  • Fonction : Auteur
A. Armigliato
  • Fonction : Auteur
S. Frabboni
  • Fonction : Auteur
A. Cedola
  • Fonction : Auteur
S. Lagomarsino
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146410 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146410 , version 1

Citer

I. de Wolf, V. Senez, R. Balboni, A. Armigliato, S. Frabboni, et al.. Techniques for mechanical strain analysis in submicron structures : TEM/CBED, micro-Raman spectroscopy, X-RAY micro-diffraction and modelling. Microelectronic Engineering, 2003, 70, pp.425-435. ⟨hal-00146410⟩
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