Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2003
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00146410
Soumis le : mardi 15 mai 2007-08:30:37
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00146410 , version 1
Citer
I. de Wolf, V. Senez, R. Balboni, A. Armigliato, S. Frabboni, et al.. Techniques for mechanical strain analysis in submicron structures : TEM/CBED, micro-Raman spectroscopy, X-RAY micro-diffraction and modelling. Microelectronic Engineering, 2003, 70, pp.425-435. ⟨hal-00146410⟩
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