Electrostatical coupling-spring for micro-mechanical filtering applications - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Electrostatical coupling-spring for micro-mechanical filtering applications

D. Galayko
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
A. Kaiser
CV
L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur
C. Combi
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00146403

Soumis le : mardi 15 mai 2007-08:30:36

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146403 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146403 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, L. Buchaillot, D. Collard, C. Combi. Electrostatical coupling-spring for micro-mechanical filtering applications. 2003, pp.530-533. ⟨hal-00146403⟩

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