Accurate modelling of large angle tilt (LATID) and pure vertical implantations : application to the simulation of n- and p-LDMOS backgates - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Electron Devices Année : 2003

Accurate modelling of large angle tilt (LATID) and pure vertical implantations : application to the simulation of n- and p-LDMOS backgates

Emmanuel Dubois
H. Xu
  • Fonction : Auteur
S. Bardy
  • Fonction : Auteur
F. Murray
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146392 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146392 , version 1

Citer

E. Lampin, Emmanuel Dubois, H. Xu, S. Bardy, F. Murray. Accurate modelling of large angle tilt (LATID) and pure vertical implantations : application to the simulation of n- and p-LDMOS backgates. IEEE Transactions on Electron Devices, 2003, 50, pp.1401-1404. ⟨hal-00146392⟩
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