Design, realization and testing of micro-mechanical resonators in thick-film silicon technology with postprocess electrode to resonator gap reduction - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2003

Design, realization and testing of micro-mechanical resonators in thick-film silicon technology with postprocess electrode to resonator gap reduction

D. Galayko
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
A. Kaiser
CV
L. Buchaillot
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
C. Combi
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00146391

Soumis le : mardi 15 mai 2007-08:18:13

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146391 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146391 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, L. Buchaillot, Bernard Legrand, D. Collard, et al.. Design, realization and testing of micro-mechanical resonators in thick-film silicon technology with postprocess electrode to resonator gap reduction. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2003, 13, pp.134-140. ⟨hal-00146391⟩

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