Détermination des paramètres limitant la montée des MOSFETs sub-100nm - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Détermination des paramètres limitant la montée des MOSFETs sub-100nm

M. Vanmackelberg
  • Fonction : Auteur
Sylvie Lepilliet
C. Raynaud
M. Dehan
  • Fonction : Auteur
Gilles Dambrine
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00145999

Soumis le : lundi 14 mai 2007-09:34:07

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00145999 , version 1 (14-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00145999 , version 1

Citer

M. Vanmackelberg, Sylvie Lepilliet, C. Raynaud, M. Dehan, Gilles Dambrine. Détermination des paramètres limitant la montée des MOSFETs sub-100nm. 2003, pp.1D-5. ⟨hal-00145999⟩

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