Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2004
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00141186
Soumis le : jeudi 12 avril 2007-09:23:57
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00141186 , version 1
Citer
D. Lauvernier, Jean-Pierre Vilcot, M. Francois, Didier Decoster. Optimization of HSQ resist e-beam processing technique on GaAs material. Microelectronic Engineering, 2004, 75, pp.177-182. ⟨hal-00141186⟩
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