An original methodology to assess fatigue behavior in RF MEMS devices - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

An original methodology to assess fatigue behavior in RF MEMS devices

O. Millet
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Pierre Bertrand
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00141031

Soumis le : mercredi 11 avril 2007-11:21:23

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00141031 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00141031 , version 1

Citer

O. Millet, Pierre Bertrand, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. An original methodology to assess fatigue behavior in RF MEMS devices. European Microwave Week, 2004, Amsterdam, Netherlands. ⟨hal-00141031⟩

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