Reliability of polycrystalline MEMS : prediction of the debugging-time - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Reliability of polycrystalline MEMS : prediction of the debugging-time

O. Millet
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 883145
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Pierre Bertrand
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00141030

Soumis le : mercredi 11 avril 2007-11:21:23

Dernière modification le : vendredi 22 novembre 2024-16:46:27

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00141030 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00141030 , version 1

Citer

O. Millet, Pierre Bertrand, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. Reliability of polycrystalline MEMS : prediction of the debugging-time. International Symposium for Testing and Failure Analysis, ISTFA 2004, 2004, Worcester, MA, United States. ⟨hal-00141030⟩

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