Current understanding and modelling of B diffusion and activation anomalies in preamorphized ultra-shallow junctions - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Current understanding and modelling of B diffusion and activation anomalies in preamorphized ultra-shallow junctions

Bernard Colombeau
  • Fonction : Auteur
A. Smith
  • Fonction : Auteur
N.E.B. Cowern
  • Fonction : Auteur
B. Pawlak
  • Fonction : Auteur
Fuccio Cristiano
CV
R. Duffy
  • Fonction : Auteur
Alain Claverie
C.J. Ortiz
  • Fonction : Auteur
P. Pichler
  • Fonction : Auteur
E. Lampin
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
C. Zechner
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00140989

Soumis le : mercredi 11 avril 2007-10:44:45

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00140989 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00140989 , version 1

Citer

Bernard Colombeau, A. Smith, N.E.B. Cowern, B. Pawlak, Fuccio Cristiano, et al.. Current understanding and modelling of B diffusion and activation anomalies in preamorphized ultra-shallow junctions. 2004, pp.91-102. ⟨hal-00140989⟩

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