La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes

K. Chuda
  • Fonction : Auteur
X. Coqueret
  • Fonction : Auteur
V. Thomy
C. Druon
P. Tabourier
J.C. Camart
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00140980 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00140980 , version 1

Citer

K. Chuda, X. Coqueret, Julien Carlier, S. Arscott, V. Thomy, et al.. La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes. Polymérisations sous Rayonnement, PolyRay, 2004, Villeneuve d Ascq, France. ⟨hal-00140980⟩
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