La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes

K. Chuda
  • Fonction : Auteur
X. Coqueret
  • Fonction : Auteur
Julien Carlier
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
CV
S. Arscott
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
V. Thomy
CV
C. Druon
P. Tabourier
J.C. Camart

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Collection IEMN  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00140980

Soumis le : mercredi 11 avril 2007-10:30:58

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00140980 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00140980 , version 1

Citer

K. Chuda, X. Coqueret, Julien Carlier, S. Arscott, V. Thomy, et al.. La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes. Polymérisations sous Rayonnement, PolyRay, 2004, Villeneuve d Ascq, France. ⟨hal-00140980⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE
35 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More