Depth dependence of defect evolution and TED during annealing - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Année : 2004

Depth dependence of defect evolution and TED during annealing

B. Colombeau
  • Fonction : Auteur
N.E.B. Cowern
  • Fonction : Auteur
Fuccio Cristiano
CV
P. Calvo
  • Fonction : Auteur
Y. Lamrani
  • Fonction : Auteur
Nikolay Cherkashin
CV
E. Lampin
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Alain Claverie

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https://hal.science/hal-00140976

Soumis le : mercredi 11 avril 2007-10:30:57

Dernière modification le : mardi 24 septembre 2024-03:23:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00140976 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00140976 , version 1

Citer

B. Colombeau, N.E.B. Cowern, Fuccio Cristiano, P. Calvo, Y. Lamrani, et al.. Depth dependence of defect evolution and TED during annealing. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2004, 216, pp.90-94. ⟨hal-00140976⟩

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