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Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Transmission electron microscopy study of erbium silicide formation using a Pt/Er stack on a thin silicon-on-insulator substrate

A. Łaszcz
  • Fonction : Auteur
J. Katcki
  • Fonction : Auteur
J. Ratajczak
  • Fonction : Auteur
Xing Tang
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00139246 , version 1 (30-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00139246 , version 1

Citer

A. Łaszcz, J. Katcki, J. Ratajczak, Xing Tang, Emmanuel Dubois. Transmission electron microscopy study of erbium silicide formation using a Pt/Er stack on a thin silicon-on-insulator substrate. Proceedings of the XII International Conference on Electron Microscopy of Solids, EM'2005, 2005, Kazimierz Dolny, Poland. ⟨hal-00139246⟩
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