Predicted and realized improved performances of PZT film-silicon based structures for integrated pyrosensorics - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Integrated Ferroelectrics Année : 2006

Predicted and realized improved performances of PZT film-silicon based structures for integrated pyrosensorics

S. Bravina
  • Fonction : Auteur
N. Morozovsky
  • Fonction : Auteur
E.A. Eliseev
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens
A. Grosman
  • Fonction : Auteur

Domaines

Matière Condensée [cond-mat]

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https://hal.science/hal-00138743

Soumis le : mardi 27 mars 2007-11:40:29

Dernière modification le : vendredi 26 avril 2024-03:29:41

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138743 , version 1 (27-03-2007)

Identifiants

Citer

S. Bravina, N. Morozovsky, E.A. Eliseev, Eric Cattan, Denis Remiens, et al.. Predicted and realized improved performances of PZT film-silicon based structures for integrated pyrosensorics. Integrated Ferroelectrics, 2006, 80, pp.3-9. ⟨10.1080/10584580600655603⟩. ⟨hal-00138743⟩

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