Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tunable bandpass characteristic in thickfilm polysilicon technology - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2006

Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tunable bandpass characteristic in thickfilm polysilicon technology

D. Galayko
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
A. Kaiser
CV
Bernard Legrand
CV
L. Buchaillot
C. Combi
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00138651

Soumis le : mardi 27 mars 2007-10:22:55

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138651 , version 1 (27-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138651 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, C. Combi, et al.. Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tunable bandpass characteristic in thickfilm polysilicon technology. Sensors and Actuators A: Physical , 2006, 126, pp.227-240. ⟨hal-00138651⟩

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