Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tunable bandpass characteristic in thickfilm polysilicon technology - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2006

Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tunable bandpass characteristic in thickfilm polysilicon technology

A. Kaiser
Bernard Legrand
L. Buchaillot
C. Combi
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138651 , version 1 (27-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138651 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, C. Combi, et al.. Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tunable bandpass characteristic in thickfilm polysilicon technology. Sensors and Actuators A: Physical , 2006, 126, pp.227-240. ⟨hal-00138651⟩
30 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More