Dry etchnig of PZT thin films for bilayer actuator realization - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Dry etchnig of PZT thin films for bilayer actuator realization

Caroline Soyer
E. Fribourg-Blanc
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens

Collection IEMN  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00138428

Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:41:22

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138428 , version 1 (26-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138428 , version 1

Citer

Caroline Soyer, E. Fribourg-Blanc, Eric Cattan, Denis Remiens. Dry etchnig of PZT thin films for bilayer actuator realization. 2005, pp.203-211. ⟨hal-00138428⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE
20 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More