Comparison of in-plane actuation from a thin film and a bulk actuators - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Comparison of in-plane actuation from a thin film and a bulk actuators

E. Fribourg-Blanc
  • Fonction : Auteur
M. Dupont
D. Osmont
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens

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https://hal.science/hal-00138427

Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:41:22

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138427 , version 1 (26-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138427 , version 1

Citer

E. Fribourg-Blanc, M. Dupont, D. Osmont, Eric Cattan, Denis Remiens. Comparison of in-plane actuation from a thin film and a bulk actuators. 2005, pp.119-126. ⟨hal-00138427⟩

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