Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMs applications - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Integrated Ferroelectrics Année : 2005

Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMs applications

P. Delobelle
  • Fonction : Auteur
E. Fribourg-Blanc
  • Fonction : Auteur
O. Guillon
  • Fonction : Auteur
Caroline Soyer
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens

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https://hal.science/hal-00138421

Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:32:46

Dernière modification le : vendredi 26 avril 2024-03:30:28

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138421 , version 1 (26-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138421 , version 1

Citer

P. Delobelle, E. Fribourg-Blanc, O. Guillon, Caroline Soyer, Eric Cattan, et al.. Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMs applications. Integrated Ferroelectrics, 2005, 69, pp.213-221. ⟨hal-00138421⟩

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