Article Dans Une Revue
Integrated Ferroelectrics
Année : 2005
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00138419
Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:32:44
Dernière modification le : mercredi 10 avril 2024-17:06:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00138419 , version 1
Citer
Caroline Soyer, E. Fribourg-Blanc, Eric Cattan, Denis Remiens. Dry etching of PZT thin films for bilayer actuator realization. Integrated Ferroelectrics, 2005, 69, pp.203-211. ⟨hal-00138419⟩
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