Dry etching of PZT thin films for bilayer actuator realization - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Integrated Ferroelectrics Année : 2005

Dry etching of PZT thin films for bilayer actuator realization

Caroline Soyer
E. Fribourg-Blanc
  • Fonction : Auteur
Denis Remiens
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138419 , version 1 (26-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138419 , version 1

Citer

Caroline Soyer, E. Fribourg-Blanc, Eric Cattan, Denis Remiens. Dry etching of PZT thin films for bilayer actuator realization. Integrated Ferroelectrics, 2005, 69, pp.203-211. ⟨hal-00138419⟩
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