Thin film in-plane actuator : assessment of monolayer and bilayer mechanical output - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal de Physique IV Proceedings Année : 2005

Thin film in-plane actuator : assessment of monolayer and bilayer mechanical output

E. Fribourg-Blanc
  • Fonction : Auteur
Denis Remiens
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Eric Cattan
M. Dupont
D. Osmont
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00138418

Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:32:43

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138418 , version 1 (26-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138418 , version 1

Citer

E. Fribourg-Blanc, Denis Remiens, Eric Cattan, M. Dupont, D. Osmont. Thin film in-plane actuator : assessment of monolayer and bilayer mechanical output. Journal de Physique IV Proceedings, 2005, 126, pp.113-116. ⟨hal-00138418⟩

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