Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Optimisation of HSQ e-beam lithography for the patterning of FinFET transistors

J. Penaud
  • Fonction : Auteur
Emmanuel Dubois
M. Francois
  • Fonction : Auteur
M. Muller
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138404 , version 1 (26-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138404 , version 1

Citer

F. Fruleux, J. Penaud, Emmanuel Dubois, M. Francois, M. Muller. Optimisation of HSQ e-beam lithography for the patterning of FinFET transistors. 2005, pp.9C01. ⟨hal-00138404⟩
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