Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00138404
Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:18:40
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00138404 , version 1
Citer
F. Fruleux, J. Penaud, Emmanuel Dubois, M. Francois, M. Muller. Optimisation of HSQ e-beam lithography for the patterning of FinFET transistors. 2005, pp.9C01. ⟨hal-00138404⟩
Collections
29
Consultations
0
Téléchargements