A Bi-stable Micro-machined Piezoelectric Transducer for Mechanical to Electrical Energy Transformation .
Karim Dogheche
(1, 2)
,
B. Cavallier
(3)
,
P. Delobelle
(1, 4)
,
L. Hirsinger
(1)
,
Eric Cattan
(2, 5)
,
Denis Remiens
(2, 5)
,
M. Marzencki
(6)
,
B. Charlot
(6)
,
S. Ballandras
(1, 3)
,
Skandar Basrour
(1, 3, 6, 7, 8)
1
FEMTO-ST -
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
3 Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs
4 LASMEA - Laboratoire des sciences et matériaux pour l'électronique et d'automatique
5 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
6 TIMA - Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés
7 LEPES - Laboratoire d'Etudes des Propriétés Electroniques des Solides
8 L2M, Bagneux
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
3 Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs
4 LASMEA - Laboratoire des sciences et matériaux pour l'électronique et d'automatique
5 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
6 TIMA - Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés
7 LEPES - Laboratoire d'Etudes des Propriétés Electroniques des Solides
8 L2M, Bagneux
L. Hirsinger
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1300151
- IdHAL : laurent-hirsinger
- ORCID : 0000-0002-4141-5654
Eric Cattan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 746767
- IdHAL : eric-cattan
- ORCID : 0000-0002-6576-5800
- IdRef : 151097542
Denis Remiens
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751690
- IdHAL : denis-remiens
- ORCID : 0000-0002-6761-1442
Skandar Basrour
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171102
- IdHAL : skandar-basrour
- ORCID : 0000-0003-1164-7996
- IdRef : 091646960