Chapitre D'ouvrage
Année : 2004
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https://hal.science/hal-00132044
Soumis le : mardi 20 février 2007-10:06:00
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00132044 , version 1
Citer
Lionel Buchaillot, Dominique Collard, Vincent Agache, Olivier Millet. Procédés d'usinage de surface sur silicium. DE LABACHELERIE M. Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces, Hermès Sciences, pp.221-253, 2004. ⟨hal-00132044⟩
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