Micromachined actuators for friction driven linear micro-motors - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Micromachined actuators for friction driven linear micro-motors

Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00131348

Soumis le : vendredi 16 février 2007-10:16:42

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00131348 , version 1 (16-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00131348 , version 1

Citer

Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard. Micromachined actuators for friction driven linear micro-motors. Proceedings of the Fifth International Symposium on Linear Drive for Industry Applications, LDIA 2005, 2005, Hyogo, Japan. ⟨hal-00131348⟩

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