New package-free silicon microsensors for infrared and thermal flow measurements. Potential automotive applications - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

New package-free silicon microsensors for infrared and thermal flow measurements. Potential automotive applications

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Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00131328

Soumis le : vendredi 16 février 2007-09:50:16

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00131328 , version 1 (16-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00131328 , version 1

Citer

M. Haffar, Yala M. Ait-Hammouda, K. Ziouche, P. Godts, D. Leclercq. New package-free silicon microsensors for infrared and thermal flow measurements. Potential automotive applications. Proceedings of 2005 Sensors & Actuators for Advanced Automotive Applications, SENSACT 2005, 2005, Noisy-Le-Grand, France. ⟨hal-00131328⟩

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