SU-8 based arch-like microfluidic microchannels using single mask/single step photolithography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

SU-8 based arch-like microfluidic microchannels using single mask/single step photolithography

M. Gaudet
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
S. Arscott
CV
J.C. Camart
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00130826

Soumis le : mercredi 14 février 2007-09:45:13

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00130826 , version 1 (14-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00130826 , version 1

Citer

M. Gaudet, S. Arscott, J.C. Camart, L. Buchaillot. SU-8 based arch-like microfluidic microchannels using single mask/single step photolithography. 2005, pp.1189-1192. ⟨hal-00130826⟩

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