Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures" - Archive ouverte HAL
Autre Publication Scientifique Année : 2006

Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures"

V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
W. Kafrouni
  • Fonction : Auteur
Institut Européen des membranes
A. Julbe
Institut Européen des membranes
CV
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Institut Européen des membranes

Nathalie Bonneval  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00128780

Soumis le : vendredi 2 février 2007-16:12:59

Dernière modification le : lundi 17 juin 2024-09:09:41

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00128780 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00128780 , version 1

Citer

V. Rouessac, W. Kafrouni, A. Julbe, J. Durand. Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures". 2006. ⟨hal-00128780⟩

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