Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Autre Publication Scientifique Année : 2006

Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures"

V. Rouessac
A. Julbe
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00128780 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00128780 , version 1

Citer

V. Rouessac, W. Kafrouni, A. Julbe, J. Durand. Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures". 2006. ⟨hal-00128780⟩
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