Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET

N. Abele
  • Fonction : Auteur
K. Segueni
  • Fonction : Auteur
K. Boucart
  • Fonction : Auteur
F. Casset
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
L. Buchaillot
P. Ancey
  • Fonction : Auteur
A.M. Ionescu
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00128669

Soumis le : vendredi 2 février 2007-10:43:16

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00128669 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00128669 , version 1

Citer

N. Abele, K. Segueni, K. Boucart, F. Casset, Bernard Legrand, et al.. Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET. 2006, pp.882-885. ⟨hal-00128669⟩

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