Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS

Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00128667

Soumis le : vendredi 2 février 2007-10:43:15

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00128667 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00128667 , version 1

Citer

Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard. Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS. Ecole CNRS : Nanosciences et Nanotechnologies, 2006, Autrans, France. ⟨hal-00128667⟩

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