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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS

L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00128667 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00128667 , version 1

Citer

Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard. Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS. Ecole CNRS : Nanosciences et Nanotechnologies, 2006, Autrans, France. ⟨hal-00128667⟩
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