Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microsystem Technologies Année : 2005

Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells

Y.H. Cho
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
F. Conseil
  • Fonction : Auteur
B.J. Kim
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00128653

Soumis le : vendredi 2 février 2007-10:30:38

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00128653 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00128653 , version 1

Citer

Y.H. Cho, D. Collard, L. Buchaillot, F. Conseil, B.J. Kim. Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells. Microsystem Technologies, 2005, 12, pp.30-37. ⟨hal-00128653⟩

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