Biaxial initial stress characterization of bilayer gold RF-switches - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronics Reliability Année : 2005

Biaxial initial stress characterization of bilayer gold RF-switches

K. Yacine
  • Fonction : Auteur
F. Flourens
  • Fonction : Auteur
David Bourrier
Ludovic Salvagnac
P. Calmont
  • Fonction : Auteur
X. Lafontan
  • Fonction : Auteur
Q.H. Duong
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
D. Peyrou
  • Fonction : Auteur
Patrick Pons
Robert Plana
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 843541

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00128652

Soumis le : vendredi 2 février 2007-10:30:38

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00128652 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

Citer

K. Yacine, F. Flourens, David Bourrier, Ludovic Salvagnac, P. Calmont, et al.. Biaxial initial stress characterization of bilayer gold RF-switches. Microelectronics Reliability, 2005, 45, pp.1776-1781. ⟨10.1016/j.microrel.2005.07.093⟩. ⟨hal-00128652⟩

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