Influence of the deposition parameters on the texture of boron nitride thin films synthesized in a microwave plasma-enhanced reactor - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Surface and Coatings Technology Année : 2006

Influence of the deposition parameters on the texture of boron nitride thin films synthesized in a microwave plasma-enhanced reactor

P. Thévenin
  • Fonction : Auteur
M. Eliaoui
  • Fonction : Auteur
A. Ahaitouf
  • Fonction : Auteur
A. Bath
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00127946 , version 1 (30-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00127946 , version 1

Citer

P. Thévenin, M. Eliaoui, A. Ahaitouf, A. Soltani, A. Bath. Influence of the deposition parameters on the texture of boron nitride thin films synthesized in a microwave plasma-enhanced reactor. Surface and Coatings Technology, 2006, 200, pp.6444-6448. ⟨hal-00127946⟩
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