Packaging methodology for RF devices using a BCB membrane transfert technique - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2006

Packaging methodology for RF devices using a BCB membrane transfert technique

S. Seok
  • Fonction : Auteur
N. Rolland
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
P.A. Rolland
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00126798

Soumis le : vendredi 26 janvier 2007-11:04:36

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00126798 , version 1 (26-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00126798 , version 1

Citer

S. Seok, N. Rolland, P.A. Rolland. Packaging methodology for RF devices using a BCB membrane transfert technique. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2006, 16, pp.2384-2388. ⟨hal-00126798⟩

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