Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2005
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00125656
Soumis le : lundi 22 janvier 2007-11:31:02
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00125656 , version 1
Citer
D. Lauvernier, S. Garidel, C. Legrand, Jean-Pierre Vilcot. Realization of sub-micron patterns on GaAs using a HSQ etching mask. Microelectronic Engineering, 2005, 77, pp.210-216. ⟨hal-00125656⟩
Collections
36
Consultations
0
Téléchargements