Tunable passband T-filter electrostatically driven polysilicon micromechanical resonators - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2005

Tunable passband T-filter electrostatically driven polysilicon micromechanical resonators

D. Galayko
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
A. Kaiser
CV
Bernard Legrand
CV
L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur
C. Combi
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00125630

Soumis le : lundi 22 janvier 2007-10:27:51

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00125630 , version 1 (22-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00125630 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, et al.. Tunable passband T-filter electrostatically driven polysilicon micromechanical resonators. Sensors and Actuators A: Physical , 2005, 117, pp.115-120. ⟨hal-00125630⟩

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